浙江啟爾機(jī)電技術(shù)有限公司成立于2013年,2017年8月簽約入駐青山湖科技城,公司主要研發(fā)、生產(chǎn)和銷售高端半導(dǎo)體裝備超潔凈流控系統(tǒng)及其關(guān)鍵零部件。啟爾機(jī)電前身是浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室啟爾團(tuán)隊(duì),先后承擔(dān)國(guó)家863計(jì)劃和國(guó)家科技重大專項(xiàng)等科研項(xiàng)目30余項(xiàng),總投資約10億元,已獲授權(quán)發(fā)明專利100余項(xiàng)。公司員工310余人,其中:高級(jí)職稱7人,博士14人,在職博士6人。啟爾團(tuán)隊(duì)深耕于高端半導(dǎo)體裝備細(xì)分領(lǐng)域的尖端技術(shù),經(jīng)過(guò)十六年堅(jiān)持不懈的基礎(chǔ)研究和技術(shù)攻關(guān),已成長(zhǎng)為該技術(shù)領(lǐng)域全球前三,國(guó)內(nèi)唯一高科技公司,具有不可替代的行業(yè)地位。